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本发明涉及一种去胶机用晶圆传送手臂，具有手臂和手指单元；所述手臂的下方设置有可跟随手臂进行伸缩联动的辅助联动装置；所述手臂包括第一手臂和第二手臂；所述第一手臂通过F关节与晶圆传送手臂的驱动装置连接；与所述晶圆传送手臂驱动装置连接的第一手臂下方设置有支撑平台；所述第一手臂与第二手臂通过S关节连接，S关节的下方设有S平台；所述第二手臂前端设有第三手臂且手指单元安装在第三手臂的两端；所述第三手臂的中间段向外延伸形成平台；所述手臂、辅助联动装置、S平台以及平台形成双四边形伸缩结构。本发明的目的是克服现有
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112975910 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110237305.4
(22)申请日 2021.03.03
(71)申请人 无锡邑文电子科技有限公司
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