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2023-06-11 发布于四川
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本发明公开了一种光刻机及其操作方法，其结构包括光刻机、滑动开关、双工位旋转装置、激光器、显微镜、控制面板，双工位旋转装置由壳体、旋转工作台、滑动换位机构、第一旋转电机、电动推拉杆、第二旋转电机组成，通过负压吸附机构将载体吸附在第二载片盘上，进而利用第二旋转电机带动第二载片盘旋转工作，避免了载体在刻画过程中出现误差，导致材料的浪费，通过滑动开关控制滑动换位机构往右移动后，在让第一旋转电机带动第一载片盘上的载体旋转工作，进而取出第二载片盘上的载体，加快了光刻机在工作时送入载体与取出载体，提高了工作效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112987503 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110121266.1 (22)申请日 2019.03.06 (62)分案原申请数据 2019101

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