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一种梳齿型元件的制造方法，该梳齿型元件具备经由间隙相互啮合地配置的多个固定梳齿和多个可动梳齿，并且上述可动梳齿与上述固定梳齿的啮合量可变，其中，在被蚀刻基材的表面形成用于形成上述固定梳齿的第一掩模图案和用于形成上述可动梳齿的第二掩模图案，在相邻的上述第一掩模图案之间以及相邻的上述第二掩模图案之间的上述被蚀刻梳齿基材上配置被蚀刻掩模图案，并且该被蚀刻掩模图案的厚度根据相邻的上述固定梳齿与上述可动梳齿之间的第一间隙尺寸和相互相邻的上述固定梳齿之间的第二间隙尺寸来形成，通过Deep‑RIE对上述被蚀刻
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113015691 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 201980074534.X (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
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