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本发明提供了一种显示背板的制作方法、显示背板及显示装置,涉及显示技术领域。本发明通过在衬底基板上形成第一有源层和第二有源层,形成覆盖第一有源层和第二有源层的第一栅绝缘层,在第一栅绝缘层上形成第一栅极,对第一非沟道区、第二非沟道区和第二沟道区进行离子注入,以降低第一非沟道区、第二非沟道区和第二沟道区的氧空位浓度,在第一栅绝缘层上形成第二栅极。通过在形成第一栅极后,对第一非沟道区、第二非沟道区和第二沟道区进行离子注入,占据第一非沟道区、第二非沟道区和第二沟道区的氧空位,使得第一非沟道区、第二非沟道区
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112992936 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202110180434.4 H01L 21/77 (2017.01)
(22)申请日 2021.02
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