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本发明公开了一种氮化镓器件可靠性测试装置及测试方法,所述装置包括负载电阻、负载电容、第一半导体开关器件,负载电阻的一端连接至直流电源,负载电阻的另一端连接至第一半导体开关器件的漏极,第一半导体开关器件的源极分别连接至待测氮化镓器件的漏极、负载电容的一端,所述负载电容的另一端连接至直流电源,待测氮化镓器件的源极接地;第一半导体开关器件的栅极连接至第一脉冲发生器,待测氮化镓器件的栅极连接至第二脉冲发生器。采用本发明的装置及测试方法不仅大大降低系统测试功耗,而且可以单独宽范围加速测试,满足氮化镓器件的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112986779 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110180716.4
(22)申请日 2021.02.08
(65)同一申请的已公布的文献号
申请公布号 C
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