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一种基于飞秒激光可控刻蚀的薄膜材料图案化加工方法.pdfVIP

一种基于飞秒激光可控刻蚀的薄膜材料图案化加工方法.pdf

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    本发明涉及一种基于飞秒激光可控刻蚀的高精度薄膜材料快速图案化加工方法，通过先在基底上沉积一层薄膜材料，再利用飞秒激光在薄膜材料上进行刻蚀图案化，最后将图案化的材料置于酒精中进行超声清洗后烘干，即得图案化的薄膜材料。本发明所述图案化加工方法，加工精度高，图案尺寸误差可达±3％以内；工艺简单，加工效率高；利用紫外飞秒激光的冷加工特性，降低对薄膜的热损伤；精确控制激光能量，不会对基底材料产生损伤；不使用任何有毒试剂，环保安全。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112975142 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110229642.9 (22)申请日 2021.03.02 (71)申请人 北京航空航天大学杭州创新研究院

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