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一种调整金刚石碟中金刚石刷尖面的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-11 发布于四川
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一种调整金刚石碟中金刚石刷尖面的方法.pdf

    本发明公开了一种调整金刚石碟中金刚石刷尖面的方法，将备用金刚石放入粘胶体中，由于金刚石自身重量沉降，金刚石尖部高度差缩小。本发明通过将金刚石放在粘胶体上，利用金刚石重量的沉降作用，减少金刚石尖部的高度差，更进一步，可以在金刚石尖上使用压板按压，可以使得金刚石尖部等高或基本等高。这样金刚石尖部一致，修整支撑垫时，平整度高，保证了芯片研磨质量稳定。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112959235 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110208261.2 (22)申请日 2021.02.24 (71)申请人 合肥铨得合半导体有限责任公司

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