石墨烯太赫兹光源器件及其制作方法.pdfVIP

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2023-06-11 发布于四川
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石墨烯太赫兹光源器件及其制作方法.pdf

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本发明公开了一种石墨烯太赫兹光源器件及其制作方法。所述石墨烯太赫兹光源器件包括：石墨烯沟道区、源极、漏极和栅极，所述石墨烯沟道区设置在栅极上方，所述源极经石墨烯沟道区漏极电连接，所述栅极包括异质结、第一电极和第二电极，所述异质结内形成有二维电子气，所述第一电极和第二电极通过所述二维电子气电连接，且所述石墨烯沟道区能够与所述异质结内的二维电子气互调。本发明实施例提供的一种石墨烯太赫兹光源器件可形成石墨烯等离激元的场效应太赫兹器件，而石墨烯的高载流子迁移率可以带来器件的更高灵敏度和电学响应。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113013714 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202110214472.7 H01L 33/34 (2010.01)