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本发明是一种电子束曝光的邻近效应快速矫正方法。电子束曝光的邻近效应快速矫正方法包括：S11设置电子束曝光版图矩阵；S12使用二维快速傅里叶变化方法计算电子束正向曝光模拟的能量沉积；S13计算电子束曝光后的阈值显影图案强度；S14计算电子束曝光版图误差函数；S15设置收敛精度，判断是否收敛；S16计算电子束曝光剂量因子矩阵向量梯度迭代直至收敛；S17将电子束曝光版图剂量矫正结果转化为可用于曝光的数据类型。本发明实现了任意形状电子束曝光版图的邻近效应矫正计算，具有低误差率、高收敛速度率和高计算效率的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112987514 B
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202110400952.2
(22)申请日 2021.04.14
(65)同一申请的已公布的文献号
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