一种晶圆清洗用自动回收装置.pdfVIP

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2023-06-11 发布于四川
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一种晶圆清洗用自动回收装置.pdf

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本发明公开了一种晶圆清洗用自动回收装置，包括圆晶接收流水线、烘干组件、抓料组件以及码垛包装组件，烘干组件包括吹风机和数个龙门支架，数个龙门支架架设在晶圆接收流水线上方，每个龙门支架的横梁底部均设置有风腔，且每个风腔的底部表面均成型有数个出风口，吹风机的出风口通过分歧管路与数个风腔连接，抓料组件包括伺服直线模组、工业机器人和吸附头，伺服直线模组设置在晶圆接收流水线的一侧，且工业机器人连接设置在伺服直线模组上，吸附头设置在工业机器人的执行端上，码垛包装组件包括码垛载台和数个码垛箱，本发明能将清洗结束

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113013066 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110224910.8 (22)申请日 2021.03.01 (71)申请人昆山基侑电子科技有限公司