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一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法.pdfVIP

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  • 2023-06-11 发布于四川
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一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法.pdf

    本申请公开一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法，其中所述晶圆MAP图的转换方法包括(S1)采集与待检测晶圆有关的格式文件中的数据，其中与待检测晶圆有关的格式文件中的数据被定义为待测晶圆数据，记载所述待测晶圆数据的文件格式被定位为待测数据格式；(S2)匹配所述待测数据格式的所述待测晶圆数据于一标准MAP格式，以确定与所述标准数据相对应的相对的所述待测晶圆数据在所述待测数据格式的相关参数，并确定是否需要转换，所述标准MAP格式所记载的数据为晶圆检测设备能够直接读取的标准数据；(S3)转录所述待测晶圆

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113011139 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110234648.5 (22)申请日 2021.03.03 (71)申请人 上海伟测半导体科技股份有限公司

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