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亚表面缺陷的检测装置.pdfVIP

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  • 2023-06-11 发布于四川
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亚表面缺陷的检测装置.pdf

    一种亚表面缺陷的检测装置，包括：光源组件，所述光源组件适宜于产生照明光，所述照明光为发散光；所述照明光耦合入待检测件中以形成波导光，所述波导光在所述待检测件中以导波模式传播；成像组件，所述成像组件包括：面阵图像传感器，所述面阵图像传感器适宜于采集被散射的波导光以获得缺陷图像；处理组件，所述处理组件适宜于对所述缺陷图像进行处理。所述检测装置能够实现多角度检测以提高成像效率；而且，成像组件中采用面阵图像传感器获得缺陷图像，配合呈发散光的照明光，能够避免扫描的方式的引用，从而避免机械振动干扰、降低同步

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113008796 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110238855.8 (22)申请日 2021.03.03 (71)申请人 赤壁精迈光电科技有限公司

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