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一种适用于易电离气体的高真空测量系统.pdfVIP

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  • 2023-06-11 发布于四川
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一种适用于易电离气体的高真空测量系统.pdf

    本发明公开了一种适用于易电离气体的高真空测量系统，是通过薄膜热噪声信号探测、光学共振信号放大实现适用于易电离气体的高真空测量系统。基于薄膜在不同气压的具有不同的运动特性，高真空情况下自身热运动明显，通过探测薄膜热噪声信号；基于光学谐振腔，实现光信号的共振放大，提供探测灵敏度；基于放大后的热噪声信号，分析薄膜在待测环境下的薄膜特征频率与品质因子，可实现10‑10‑6Pa范围内的真空探测。该系统扩大了真空测量领域的测量范围；可以通过使用不同型号的薄膜扩大测量精度和范围；可适应于不同气体环境。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115014631 A (43)申请公布日 2022.09.06 (21)申请号 202210180089.9 (22)申请日 2022.02.25 (71)申请人 华东师范大学 地址 200241

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