原创力文档- 1、本文档共13页，其中可免费阅读12页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供检测装置，即使在无法通过红外线照相机从晶片的背面检测形成于正面的分割预定线的情况下，也能够从晶片的背面检测形成于正面的分割预定线。对被加工物的内部进行检测的检测机构包含：波长区分延迟单元，其使从激光振荡器射出的每一个脉冲的脉冲激光光线按照每个波长而具有时间差；以及环生成单元，其将按照每个波长而具有时间差的脉冲激光光线生成为环状，并且按照每个波长从小环形光分光为大环形光。当向被加工物照射按照每个波长而具有时间差的环状的脉冲激光光线时，在被加工物内部产生超声波的干涉波，在超声波所会聚的位置
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112975112 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202011425695.X B23K 26/08 (2014.01)
文档评论（0）