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一种用于在夹持装置(3)上对物体(4)进行着座检测的检测装置(11),其包括测量室(14)、流入阻抗(22)、至少一个流出阻抗(24a、24b)以及压力传感器(30),测量室(14)具有流入开口(15a),用于从压力源(16)供给检测流体;至少一个流出开口(17a、17b),用于将所述检测流体排放至压力降(18);以及至少一个检测开口(19),其能够由邻接在所述夹紧装置(3)上的所述物体(4)至少部分地闭合,流入阻抗(22)用于限制经由所述流入开口(15a)的所述检测流体的流入,至少一个流出阻抗
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113015599 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 201980075354.3 (74)专利代理机构 北京博雅睿泉专利代理事务
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