【测试表征系列之TEM】能谱分析EDX-操作规范.pdfVIP

能谱分析EDX 1. 开始菜单ProgramsEdax GenesisGenesis RTEM ，出现RTEM control界面。 2. 确定物镜光阑已经退出。 3. 调节放大倍数，使Mag.在SA倍以上（LA低倍下易探到Cu网，CPS值剧增）；调节样品 位置，使其不要在铜网边缘。 4. 在RTEM Control界面中点IN ，此时EDX探头将会伸入。 5. 注意RTEM control下拉界面的Actual CPS值 ，调节到2000-3000。 调节方法： （1 ） spot size增大，CPS减小（spot size一般3 ） （2 ） 如果CPS值太小，调节Holder的角度（Searchstage右拉Set Alpha 10o ） （3 ） 如果还不行，调节聚光镜光阑（一般不用）。 6. 在主程序中选择EDX菜单，点击view ，进行谱峰浏览。 7. 判断EDX各项指数正常，谱图中需要的元素能够出现谱峰。 8. 一切正常，则可点击Acquire开始做能谱分析。再次点击Acquire停止分析。 注意事项 1. counts/s值最好大于800。 2. Dead time的数值不能为红色，若为