原创力文档- 1、本文档共25页，其中可免费阅读24页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
用于将第一层沉积在柔性条状或片状基板上并将第二层沉积在第一层上的系统和方法。所述系统包括：第一类型的第一沉积单元，其设置有第一支撑体；输送装置，所述输送装置用于沿支撑体的径向外侧在平行于第一支撑体的第一中心线延伸的输送方向上输送基板。在第一沉积单元的下游，所述系统还包括：第二沉积单元，所述第二沉积单元设置有第二支撑体，所述第二支撑体具有与第一中心线对齐的第二中心线；以及缠绕装置，其用于使基板保持在缠绕状态，基板缠绕在第一支撑体和第二支撑体的径向外侧的至少一部分上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112996949 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 201980073041.4 (74)专利代理机构 北京弘权知识产权代理有限
文档评论（0）