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干涉式三维表面形貌测量仪校准规范.docx

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    PAGE PAGE 1 光学显微干涉式三维表面形貌测量仪校准规范 1 范围 本规范适用于光学显微干涉式三维表面形貌测量仪的校准。 2 引用文件 本规范引用下列文件： JJF 1001-2011 通用计量术语及定义 JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示 JJF 1071-2010 国家计量校准规范编写规则 GB/T 19067.1-2003 产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准 第一部分：实物测量标准 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。 3 概述 光学显微干涉式三维

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