原创力文档- 1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开一种用于导模法生长氧化镓晶体的监控系统及氧化镓晶体制备方法，其中，所述监控系统包括设置有观察窗的晶体生长炉以及籽晶杆，所述籽晶杆的一端插入到所述晶体生长炉内，所述籽晶杆的另一端连接有升降装置，所述籽晶杆靠近所述升降装置的一侧上还设置有用于实时获取氧化镓晶体重量的压力传感器，所述观察窗外侧设置有红外摄像机，所述压力传感器与所述红外摄像机均与外接计算机电连接。本实施例提供的监控系统可以及时识别氧化镓晶体生长过程中出现的过热或者过冷的现象，并且第一时间调节发热体的加热功率，有效降低由于过热或
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113026103 B
(45)授权公告日 2022.06.17
(21)申请号 202110178952.2 C30B 15/28 (2006.01)
您可能关注的文档
最近下载
- 高中物理24个题型.docx VIP
- 高中化学——高中化学知识清单.docx VIP
- 人教版高中物理高考必考重点知识点总结完整版(必修+选修).pdf VIP
- 2023年中考英语专题复习——冠词+答案.pdf VIP
- 2023年中考英语真题分项汇编（全国通用）：专题04 单项选择之时态和语态（第02期）（解析版）.docx VIP
- 【中考真题】2024年新疆维吾尔自治区中考语文试卷(附答案) .pdf VIP
- 2024年兰州市高三诊断考试（一诊）英语试卷（含官方标准答案）后附原卷扫描版.docx
- 2024年黑龙江哈尔滨市中考数学真题卷及答案解析.pdf VIP
- 2025年春新人教版物理八年级下册全册教案.pdf
- 五年级综合算式计算题 100题.doc
文档评论（0）