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- 2023-06-12 发布于四川
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本申请提供的晶圆清洗装置与晶圆清洗方法，通过包括至少一个包括机械臂和喷嘴的清洗组件，当晶圆清洗装置清洗晶圆时，第一旋转件固定晶圆并带动晶圆旋转，一个机械臂将喷嘴运动至晶圆背离工作台的一侧，喷嘴朝向晶圆喷出清洗液进行清洗，本申请通过设置具有收容空间的第一遮挡件，除了正在进行清洗工作的喷嘴外，将其余的至少部分喷嘴位于收容空间内，利用第一遮挡件遮挡溅射出的清洗液，防止溅射出的清洗液附着在未进行清洗工作的喷嘴上，在下一次清洗工作开始前保证喷嘴不被溅射出的清洗液所污染，减少交叉污染，从而防止被污染的喷嘴污
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113020078 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202110322842.9
(22)申请日 2021.03.25
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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