用于改善图像传感器串扰的方法和结构.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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用于改善图像传感器串扰的方法和结构.pdf

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本申请涉及用于改善图像传感器串扰的方法和结构。图像传感器包含衬底材料，所述衬底材料具有设置在其中的多个小光电二极管SPD和多个大光电二极管LPD。在所述衬底材料中形成多个像素隔离器，每个像素隔离器设置在所述SPD中的一个与所述LPD中的一个之间。钝化层设置在所述衬底材料上，并且缓冲层设置在所述钝化层上。多个第一金属元件设置在所述缓冲层中，每个第一金属元件设置在所述像素隔离器中的一个的上方，并且多个第二金属元件设置在所述多个第一金属元件上方。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113053933 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202011577964.4 (22)申请日 2020.12.28 (30)优先权数据 16/729,17