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一种系统，包括：射束源(110)，以及包括第一部分和第二部分的光学系统(304)。该系统进一步包括集成到第一部分和第二部分中的相应部分中的第一扭矩电机和第二扭矩电机。第一扭矩电机(420)配置为使第一部分(416)围绕第一轴线(434)旋转。第二扭矩电机(426)配置为使第二部分(418)围绕第二轴线(436)旋转。第一轴线垂直于第二轴线。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113056345 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 201980076000.0 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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