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本发明公开了一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法,该方法为:一、将电解镍粉与铬粉按8:2的质量比置于混料器中混合均匀,然后将混合后的物料冷等静压成型,得到镍铬合金坯料;二、将镍铬合金坯料置于真空热压烧结炉内热压烧结,得到镍铬合金板坯;三、将镍铬合金板坯切割至所需尺寸后进行退火处理,得到溅射靶材用镍铬合金。本发明方法简单,操作方便,产品成品率高,粉末利用率高,无污染,制备过程中不会产生废料、废酸等污染物。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113025847 A
(43)申请公布日
2021.06.25
(21)申请号 20191
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