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一种石英坩埚表面自动清洗除砂系统.pdfVIP

一种石英坩埚表面自动清洗除砂系统.pdf

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    本发明公开了一种石英坩埚表面自动清洗除砂系统，包括机身、内侧喷淋除砂机构和外侧喷淋除砂机构，外侧喷淋除砂机构通过第一弧形臂杆上的毛刷聚拢与石英坩埚贴合和第二弧形臂杆上的高压喷头，当石英坩埚随托盘转动使，可清除石英坩埚外表面的砂砾和灰尘，同时通过内侧喷淋除砂机构中的第一方形外壳与第二方形外壳表面的毛刷与高压喷头清除石英坩埚内部的砂砾和灰尘，且第一方形外壳与第二方形外壳通过球形连接块相连，可保持固定位置同时转动换面，使内部喷淋除砂能够实现多种清洗效果，提高清洗质量。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113020185 B (45)授权公告日 2022.07.01 (21)申请号 202110370462.2 B08B 13/00 (2006.01) (22)申请日 2021.04

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