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2023-06-12 发布于四川
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一种用于单片式晶圆的清洗装置.pdf

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本发明属于清洗装置领域，具体为一种用于单片式晶圆的清洗装置，包括间隙转动机构、固定机构、清洗机构，所述间隙转动机构包括底板、转轴支架、转轴、蜗轮、蜗杆，所述底板顶端通过所述转轴支架支撑有所述转轴，所述转轴一端键连接有所述蜗轮，所述转轴另一端固定有转盘，所述蜗轮一侧啮合有所述蜗杆，所述蜗杆键连接在电机一输出轴上，所述电机一通过电机支座固定安装在所述转轴支架上，所述固定机构包括连接架、滑动支架、滑套、滑杆、限位板一。本发明采用间隙转动机构和固定机构，从而可以同时固定多个单片式晶圆并送入清洗机构进行清

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113020059 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 202110181217.7 (22)申请日 2021.02.10 (71)申请人江苏亚电科技有限公司

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