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电磁复合透镜可以被配置为聚焦带电粒子束。复合透镜可以包括设置在次级光轴上的静电透镜和也设置在次级光轴上的磁透镜。磁透镜可以包括永磁体。带电粒子光学系统可以包括束流分离器，该束流分离器被配置为将由源沿初级光轴生成的初级带电粒子束的多个束波与次级带电粒子的次级光束分开。该系统可以包括次级成像系统，该次级成像系统被配置为沿次级光轴将次级光束聚焦到检测器上。次级成像系统可以包括复合透镜。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113056806 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 201980075411.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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