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公开一种可调型微机电系统(MEMS)探针卡。根据实施例，在由上部板以及下部板结合而成且在其内部安装有多个探针的微机电系统(MEMS)探针卡中，在上部板上形成多个第1针孔，包括形成于第1针孔的一侧的第1空间以及形成于第1针孔的另一侧的第2空间，上述第1空间的宽度大于第2空间。借此，可以通过改善探针的弯曲性能而缩短间距，而且可以通过上部板与下部板结合之后的各个第1针孔与第2针孔的位置偏差二进一步提升探针的弯曲性能，从而在与设备接触时更加弹性地实现弯曲。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113049934 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202011122775.8
(22)申请日 2020.10.20
(30)优先权数据
10-2019-0
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