一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法.pdf

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本发明公开了一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法，通过连续压痕试验测试衬底材料的损伤层深度，提出微压痕测试的方法来评估CVD金刚石加工表面的总损伤，微压痕试验引起的损伤足够小，可以在加工过程中消除；具有快速、低成本、操作性强等特点，可以用于金刚石材料不同加工流程中损伤层的快速检测与评价，为优化材料加工参数以及下一道工序的加工时间有一定的指导意义。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115683906 A (43)申请公布日 2023.02.03 (21)申请号 202211454241.4 (22)申请日 2022.11.21 (71)申请人郑州磨料磨具磨削研究所有限公司地址