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本发明公开了一种量产型激光直写光刻机及其控制方法，应用于集成电路制造，量产型激光直写光刻机包括移动平台、对准相机、光学引擎和移载装置，移动平台包括多个区域，每个区域内安装有单个或多个光学引擎；光学引擎带有同轴或旁轴的对准相机，光学引擎根据晶圆上的Mark位置对每个镜头进行图形数据变换处理，并根据变换后得到的图形位置数据在各晶圆相对应的位置进行曝光；利用寻边器对晶圆位置进行预对准处理；移载装置将预对准过的晶圆移入移动平台相对应的区域，光学引擎根据Mark位置进行对准曝光。本发明能够同时对多个区域的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113031404 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202110310281.0
(22)申请日 2021.03.23
(71)申请人 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
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