声表面波谐振器.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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声表面波谐振器.pdf

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本发明提供了一种声表面波谐振器，包括：压电基板和叉指电极，叉指电极设置在压电基板上；叉指电极包括一体成型设置的电极指和汇流条，电极指连接设置在汇流条上；电极指包括变形部、主体部以及多个补偿部；主体部的一端设置在汇流条上，变形部设置在主体部的末端，多个补偿部设置在变形部上。本发明在电极指末端设置变形部和补偿部而精准调控声速，抑制不期望的纹波或杂散波并激励活塞模，大大提升了声表面波谐振器的电学性能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115694404 A (43)申请公布日 2023.02.03 (21)申请号 202211411216.8 (22)申请日 2022.11.11 (71)申请人浙江星曜半导体有限公司地址 32