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本发明公开了一种减反射片制备方法及减反射片，所述减反射片应用于3.7‑4.8μm波长范围，所述减反射片包括基片、第一膜层、第二膜层以及第三膜层，所述基片为硫系玻璃；所述制备方法包括：确定所述电子枪的二次电子的轰击位置；在所述轰击位置放置导热板；对所述真空腔室进行抽真空操作，并通过所述加热装置对所述基片进行梯度加热；当所述真空腔达到预设真空度并且所述基片达到预设温度时，通过所述电子枪执行镀膜操作。本申请通过使用导热板，对电子枪在进行膜层蒸镀时产生的热量进行散热，减小真空腔室内的温度变化，从而解决了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113031123 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202110229061.5
(22)申请日 2021.03.02
(71)申请人 长春理工大学
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