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本申请实施例公开了一种刻蚀工艺方法及装置,用以解决现有的刻蚀工艺导致顶部扇贝尺寸过大、且各分段刻蚀工艺之间难以平滑过渡的问题。所述方法包括:获取刻蚀工艺对应的第一刻蚀参数信息,以及对刻蚀工艺进行分段执行的分段参数信息;根据第一刻蚀参数信息和分段参数信息,确定各分段刻蚀工艺分别对应的第二刻蚀参数信息;其中,各分段刻蚀工艺均包括多个循环执行的工艺步骤;根据各分段刻蚀工艺分别对应的第二刻蚀参数信息,分段执行刻蚀工艺。该技术方案能够减小顶部扇贝尺寸,且使得每两个相邻的分段刻蚀工艺之间能够平滑过渡。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113097062 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110301034.4
(22)申请日 2021.03.22
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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