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2023-06-13 发布于四川
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刻蚀工艺方法及装置.pdf

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本申请实施例公开了一种刻蚀工艺方法及装置，用以解决现有的刻蚀工艺导致顶部扇贝尺寸过大、且各分段刻蚀工艺之间难以平滑过渡的问题。所述方法包括：获取刻蚀工艺对应的第一刻蚀参数信息，以及对刻蚀工艺进行分段执行的分段参数信息；根据第一刻蚀参数信息和分段参数信息，确定各分段刻蚀工艺分别对应的第二刻蚀参数信息；其中，各分段刻蚀工艺均包括多个循环执行的工艺步骤；根据各分段刻蚀工艺分别对应的第二刻蚀参数信息，分段执行刻蚀工艺。该技术方案能够减小顶部扇贝尺寸，且使得每两个相邻的分段刻蚀工艺之间能够平滑过渡。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113097062 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110301034.4 (22)申请日 2021.03.22 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

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