半导体制程机台.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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半导体制程机台.pdf

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一种半导体制程机台，包含缓冲室、机器手臂、气流供应源、抽气系统以及多个腔室。缓冲室具有一缓冲室本体，其中缓冲室本体具有进气口、抽气口、一第一晶圆通道以及一第二晶圆通道，其中进气口邻近该第一晶圆通道，抽气口邻近该第二晶圆通道，其中该第一晶圆通道与该第二晶圆通道相对设置。机器手臂设置于缓冲室中。气流供应源连接进气口。抽气系统连接抽气口。多个腔室分别连接缓冲室的第一晶圆通道以及第二晶圆通道。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113113326 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 20201