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2023-06-13 发布于四川
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纳米光机械陀螺仪及其制备方法.pdf

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本发明公开了纳米光机械陀螺仪及其制备方法，所述纳米光机械陀螺仪包括压电基底(1)，其上设置有：声表面波谐振器；位于所述声表面波谐振器的谐振腔内的质量点阵(4)；位于所述质量点阵一旁的光学谐振环(5)；与光学谐振环(5)耦合的光波导(6)，光波导(6)两端分别设有耦合输入光学信号的一个光栅和耦合检测光学信号的另一个光栅，所述一个光栅和所述另一个光栅正上方分别固定的发射光学信号的光源(10)和检测光学信号的光电探测器(9)。本发明公开的纳米光机械陀螺仪无机械悬浮结构，耐冲击抗振动性能好；采用压电激振

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113086940 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110321986.2 (22)申请日 2021.03.25 (71)申请人武汉大学地址 43

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