一种芯片高效输送装置.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种芯片高效输送装置.pdf

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本发明涉及芯片技术领域，尤其是一种芯片高效输送装置，包括两个输送单元，输送单元中的驱动机构驱动滑台气缸和滑块一起沿水平导轨移动，真空仓板安装在滑台气缸的滑台上，板块安装在真空仓板上，板块上开设多个用来放置芯片的凹槽，真空仓板内部真空通道和外界真空泵相连，凹槽槽底开设的通孔一和真空通道连通，凹槽槽底开设的通孔二和真空仓板上开设的通孔三相连通，破真空固定块中压缩空气通道和气泵连通，破真空固定块的上表面开设通孔四，通孔四和压缩空气通道连通，板块能够随滑块移动至不同位置使得通孔四和不同凹槽的通孔二相对，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113086495 B (45)授权公告日 2022.07.01 (21)申请号 202110373326.9 B65G 43/08 (2006.01)