一种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的系统及方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的系统及方法.pdf

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本发明公开了一种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的系统，包括：加热装置：其包括加热件，用于加热ITO残靶，所述加热件能到将所述ITO残靶的温度加热至铟的熔点与靶材的熔点之间；离心分离装置：其包括ITO残靶容器和离心驱动装置，所述ITO残靶容器位于所述加热件内，所述残靶容器受所述离心驱动装置的驱动而旋转；所述ITO残靶容器用于放置所述ITO残靶，放置于所述ITO残靶容器内的ITO残靶能够随之一同旋转；收集装置，收集靶材和甩离所述靶材表面的液态铟。本发明还公开了一种分离并收集ITO残靶中靶材与残留

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113106253 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110273871.0 (22)申请日 2021.03.12 (71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司