一种具有凹面的靶材背板的制造方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种具有凹面的靶材背板的制造方法.pdf

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本发明公开了一种具有凹面的靶材背板的制造方法，包括：平板坯料退火：在真空环境或惰性气体环境中，对平板坯料进行退火，退火温度为380℃至860℃，退火时间为0.4h至4.1h，形成退火平板坯料；锻打成型：在与以上步骤中退火温度相同的条件下，使用具有凸起的锻造模具多次锻打退火平板坯料，直到退火平板坯料具有与锻造模具契合的凹面后停止锻打，形成凹面坯料；凹面坯料退火：在真空环境或惰性气体环境中，对凹面坯料进行退火，退火温度不高于平板坯料退火步骤中的退火温度，退火时间不低于平板坯料退火步骤中的退火时间，形

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113106362 B (45)授权公告日 2022.07.01 (21)申请号 202110293451.9 C22F 1/04 (2006.01)