一种钨靶材组件的焊接结构及其焊接方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种钨靶材组件的焊接结构及其焊接方法.pdf

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本发明提供一种钨靶材组件的焊接结构及其焊接方法，所述焊接结构包括铝盖板、钨靶材、铝中间层和铜背板，铜背板设置有第一放置槽，所述铝中间层设置于第一放置槽中，为第一组合件，铝盖板设置有第二放置槽，所述钨靶材设置于第二放置槽中，为第二组合件，将第一组合件与第二组合件叠放，其中铝中间层与钨靶材相接触，钨靶材中与铝中间层的接触面为第一焊接面，第一焊接面上设置有第一钛金属膜，铜背板中与铝中间层的接触面为第二焊接面，第二焊接面上设置有第二钛金属膜，将所述焊接结构依次进行脱气、扩散焊接和去除包套，得到钨靶材组件

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113084323 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110481416.X (22)申请日 2021.04.30 (71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司