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本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、显示面板。薄膜晶体管的制备方法包括：在半导体层上依次制作栅极绝缘层和栅极，以及对所述半导体层进行导体化，在所述半导体层上形成沟道区和源漏区；其中，沿所述沟道区的长度方向，所述栅极绝缘层的尺寸大于所述沟道区的设计长度；在对应所述源漏区的位置制作源漏电极，形成薄膜晶体管。与现有技术相比，本发明实施例增大了薄膜晶体管的沟道长度，减小了沟道长度的误差，提升了薄膜晶体管的良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113097295 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110341881.3
(22)申请日 2021.03.30
(71)申请人 合肥
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