一种基于金属箔基底的薄膜传感器的制备方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种基于金属箔基底的薄膜传感器的制备方法.pdf

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本发明公开了一种基于金属箔基底的薄膜传感器的制备方法，在玻璃基底上设置一层聚酰亚胺下绝缘层，在其上表面制作传感器电路层，在传感器电路层上设置聚酰亚胺上绝缘层并软烘固化处理，处理后对聚酰亚胺上绝缘层的上表面刻蚀，刻蚀后设置上粘结剂层，同时将上金属铝箔基底压在上粘接剂层上形成半成品，而后对半成品加热使上粘结剂层软烘和固化，同时对上金属铝箔基底滚动施压消除气隙；固化后的半成品浸泡，使聚酰亚胺下绝缘层与玻璃基底分离；重复刻蚀及后续步骤，滚动施压后制备薄膜传感器。本发明成本低，操作简单、易于实现，仅利用玻

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113097120 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110384542.3 (22)申请日 2021.04.09 (71)申请人曹建峰地址 234