一种基于Bessel光束离焦扫描的微纳结构特征参数测量方法及装置.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种基于Bessel光束离焦扫描的微纳结构特征参数测量方法及装置.pdf

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本发明公开了一种基于Bessel光束离焦扫描的微纳结构特征参数测量方法及装置，装置包括上位机、控制器、电源模块、测量模块、电动聚焦平移台、电动扫描平移台和待测样品；电动聚焦平移台带动测量模块连续移动，改变其与待测样品表面的距离，使得聚焦光点成像的状态从离焦至聚焦至离焦连续发生变化，移动中拍摄待测样品表面图像；电动扫描平移台用于改变待测样品表面的测量区域；所述测量模块通过Bessel光束实现待测样品表面成像；上位机包括不同微纳结构特征参数所对应的三维图像栈分布数据库，通过分析待测样品表面图像形成图

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113074917 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202110355599.0 (22)申请日 2021.04.01 (71)申请人南京信息工程大学地址