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一种探针台针痕检测方法.pdfVIP

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  • 2023-06-13 发布于四川
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一种探针台针痕检测方法.pdf

    本发明涉及半导体技术领域。具体提供一种探针台针痕检测方法，通过建立运动线程和图像线程并行工作，使探针台的晶圆移动、图像处理、数据保存同时进行。本发明提供的针痕检测方法能够在晶圆测试过程中监测测试精度稳定性，保证测试良率，还能够监测针卡的使用情况，是否有针出现异常等；且采用双线程方式，同时进行运动和图像数据处理，极大地提高了检测效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113075233 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202110390687.4 (22)申请日 2021.04.12 (71)申请人 长春光华微电子设备工程中心有限

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