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本申请公开一种点火装置和半导体设备，所述点火装置，包括：点火腔室；第一进气管，具有第一出气口，与所述点火腔室连通，用于向点火腔室内通入第一气体；第二进气管，具有第二出气口，与所述点火腔室连通，用于向所述点火腔室内通入第二气体，所述第一出气口与所述第二出气口相对设置，使得通入所述点火腔室内的第一气体和第二气体形成对冲气流；加热器，所述加热器的加热元件至少围绕所述第一进气管和所述第二进气管靠近所述点火腔室一端的部分长度的外壁设置，用于将通入点火腔室内的第一气体和第二气体加热至点火温度；排气管，用于将
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113091055 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110292130.7
(22)申请日 2021.03.18
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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