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本公开提供一种制造半导体装置的方法。制造半导体装置的方法包括在基板上形成第一半导体层,在第一半导体层上形成第二半导体层,以及在第一半导体层和第二半导体层上形成牺牲膜。牺牲膜填充第一半导体层和第二半导体层之间的区域。方法还包括在第一半导体层和第二半导体层之间的牺牲膜中形成间隔并去除牺牲膜。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113113363 A
(43)申请公布日 2021.07.13
(21)申请号 202110183892.3
(22)申请日 2021.02.10
(30)优先权数据
62/981,77
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