一种单芯片三维电场传感器.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种单芯片微型三维电场传感器，以静电驱动和压电驱动交替进行的方式实现电场敏感单元电极的水平振动和垂直振动，可实现对X、Y、Z三维电场的测量。传感器主要包括：衬底、固定端、感应电极、屏蔽电极、静电驱动结构、压电驱动结构、绝缘层；两组电场敏感单元在同一平面上相互垂直放置，各自采用轴对称设计。通过静电驱动结构，使两组屏蔽电极分别相对于各自的感应电极水平振动，分别测量垂直于对称轴的面内X、Y电场分量；在压电驱动下，感应电极相对于屏蔽电极垂直振动，测量垂直于电场敏感单元的Z电场分量。本发明可实现三维电场测

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113109636 B (45)授权公告日 2022.06.17 (21)申请号 202110336557.2 (56)对比文件 (22)申请日 2021.03.29