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带失效分析标尺的电迁移测试结构.pdfVIP

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  • 2023-06-13 发布于四川
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带失效分析标尺的电迁移测试结构.pdf

    本发明提供了一种带失效分析标尺的电迁移测试结构，包括测试金属线、测试金属通孔、金属引线、金属线标尺及测试金属垫，所述测试金属线的端部通过所述测试金属通孔与所述金属引线的一端连接，所述金属引线的另一端与所述测试金属垫连接，所述金属线标尺形成于一至少一层金属层上，并用于定位所述测试金属通孔的至少一个目标截面。通过设计定位所述测试金属通孔不同目标截面位置的金属线标尺，实现电迁移结构失效分析切片位置的精准定位。特别是在多样品分析比较时，能够锁定每个样品的切片截面位置，通过比较各金属通孔相同横截面位置的形

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113066782 A (43)申请公布日 2021.07.02 (21)申请号 202110278611.2 (22)申请日 2021.03.15 (71)申请人 上海华力微电子有限公司

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