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本发明公开了一种有机平面靶材及其制备方法，其中制备方法包括以下步骤：碳纳米管(CNT)粉末和聚四氟乙烯(PTFE)粉预先混合成CNT：PTFE重量比为1：99，3：97，5：95，10：90，15：85的混合体。石墨粉与PTFE粉末以15：85、30：70的重量比混合，制备出碳含量高于CNT/PTFE的复合靶材，乙炔炭黑体积分数为0.4％的PTFE混合粉末，采用冷压烧结法制备CNT(石墨/炭黑)/PTFE复合聚合物靶材，然后进行铣削、焊接背板，制备的靶材直径和高度不受限制，工艺参数为：预成型压力
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113105704 A
(43)申请公布日 2021.07.13
(21)申请号 202110344325.1
(22)申请日 2021.03.31
(71)申请人 浙江弘康半导体技术有限公司
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