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本发明涉及机械加工微细研抛加工技术领域,尤其是一种适用于薄壁小孔的微应力研抛方法。在超精密机床上实施,是将带有表面纹理研磨头的研磨棒装夹到超精密机床上,偏置放入被加工的薄壁微小孔腔内,进行研抛加工;在启动研磨棒转动时,保持偏置量S情况下绕薄壁微小孔的中心公转;并在研磨棒对薄壁微小孔内腔进行研抛加工的部位,加入含有磨料粒子的液体磨料实施加工。研磨棒高速回转带动磨料流体流动,在楔形流场空间形成动压磨料流体层,使磨料粒子冲蚀微小孔壁面,实现冲蚀抛光作用。由于研磨头与薄壁微小孔孔壁不接触,对孔壁面实现无
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113084693 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110377233.3
(22)申请日 2021.04.08
(71)申请人 山东
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