JJF 1913-2021 激光干涉比长仪校准规范.docx

中华人民共和国国家计量技术规范 JJF 1913—2021 激光干涉比长仪校准规范 Calibration Specification for Laser Interferometric Comparators 2021-07-28 发布 2022-01-28实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发布 JJF 1913—2021 激光干涉比长仪校准规范 Calibration Specification for Laser Interferometric Comparators JJF 1913-2021 代替 JJG 331—1994 归 口 单位：全国几何量长度计量技术委员会 起 草 单 位：中国计量科学研究院 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术 研究所 本规范由全国几何量长度计量技术委员会负责解释 JJF 1913—2021 本规范起草人： 孙双花(中国计量科学研究院) 赵新丽(中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所) 沈雪萍(中国计量科学研究院) 高宏堂(中国计量科学研究院) JJF 1913—2021 I 目 录 引言 (Ⅱ) 1 范 围 ( 1) 2 引用文件 ( 1) 3 术语和定义 ( 1) 4 概 述 ( 1) 5 计量特性 ( 2) 5.1 工作台运动直线度 ( 2) 5.2 瞄准重复性 ( 2) 5.3 测量重复性 ( 2) 5.4 影像测头示值误差 ( 2) 5.5 示值误差 ( 2) 6 校准条件 ( 2) 6.1 通用校准条件 ( 2) 6.2 环境条件 ( 2) 6.3 校准用标准器 ( 2) 7 校准项目和校准方法 ( 3) 7.1 工作台运动直线度 ( 3) 7.2 瞄准重复性 ( 3) 7.3 测量重复性 ( 4) 7.4 影像测头示值误差 ( 4) 7.5 示值误差 ( 5) 8 校准结果表达 ( 5) 9 复校时间间隔 ( 5) 附录 A 激光干涉比长仪示值误差的测量不确定度评定示例 ( 6) 附录B 校准证书内容及内页格式 ( 8) JJF 1913—2021 Ⅱ 引 言 JJF 1071 《国家计量校准规范编写规则》、 JJF 1001 《通用计量术语及定义》和 JJF 1059.1《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列 规范。 本规范代替JJG 331—1994 《激光干涉比长仪》。与JJG 331—1994相比，除编辑性 修改外，主要技术变化如下： ——用激光干涉比长仪的示值误差代替比长仪的准确度； ——修改了测量重复性校准及其数据处理方法； —增加了瞄准重复性及其校准方法； ——删除了激光平行光束的均匀性、干涉条纹的对比度及输出信号的质量、测量光 束与运动方向的一致性、工作台运动速度均匀性等检定项目； 增加了对影像测头瞄准系统的相关校准项目： ——增加了附录A 激光干涉比长仪示值误差的测量不确定度评定示例。 本规范历次版本发布情况为： ——JJG 331— 1994。 ——JJG 331— 1983。 JJF 1913—2021 1 激光干涉比长仪校准规范 1 范围 本规范适用于测量范围为(0～1000) mm 的激光干涉比长仪的校准。 2 引用文件 本规范引用了下列文件： JJG 73—2005 高等别线纹尺 JJF 1001—2011 通用计量术语及定义 JJF 1059.1 测量不确定度评定与表示 JJF 1094—2002 测量仪器特性评定 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文 件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本规范。 3.1 最小线纹测量间隔 minimum line measurement interval 激光干涉比长仪能够有效测量的线纹尺最小刻线间隔。 4 概述 激光干涉比长仪是以激光波长为测长基准，直接测量线纹尺、线性位移传感器、激 光干涉仪等线值类长度测量标准的仪器。激光干涉比长仪由机械主体、测长系统、瞄准 系统、运动控制系统、照明系统、环境参量测量系统及数据处理系统等部分组成，典型 结构如图1所示。测长系统包括稳频激光光源、干涉光路、波长修正系统等；瞄准系统 采用光电显微镜或影像测头等进行刻线瞄准或读数。 图1 激光干涉比长仪 JJF 1913—2021 2 5 计量特性 5.1 工作台运动直线度 5.2 瞄准重复性 5.3 测量重复性 5.4 影像测头示值误差 5.5 示值误差 6 校准条件 6.1 通用校准条件 在进行仪器校准之前，首先