用于透明基板的背侧涂层.pdfVIP

用于透明基板的背侧涂层.pdf

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本文描述的实施方式涉及半导体处理。更具体地，本文描述的实施方式涉及透明基板的处理。膜沉积在透明基板的背侧上。确定膜的厚度，以使所述膜反射特定波长的光并且大体上防止基板弯曲。膜提供对特定波长的光的相长干涉。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113166943 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980079525.X 拿玛 ·阿加曼　韦恩 ·麦克米兰　

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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